產品特點
1）凈化程度深，不僅能除去O2等較活潑的雜質，而且還可以除去N2等惰性雜質，這是一般凈化機辦不到的；
2）本純化器為雙塔結構，一組工作，另一組備用，頂兩臺凈化機使用；
3）工作溫度較低，能耗少。
4）本系列純化器配置有預凈化塔，在合金吸附塔之前已經除去了較活潑的雜質，故極大地延長了合金吸附塔的使用壽命
技術參數
| 設備名稱 |
設備型號 |
工作方式 |
備 注 |
| 惰性氣體純化器 |
CZA-4N |
半自動 |
Ar |
| FX□-Z |
半自動 |
□選Ar、He、Xe、Ke或Ne |
| 原氣要求 Ar、He |
純 度 |
≥99.99%一般瓶裝純氬，液氬 |
| 雜質要求 |
O2≤200PPm, H2O≤1000PPm，N2≤100PPm |
| 輸出純氣 |
純 度 |
≥99.9999% |
| 雜質含量 |
O2≤0.5PPm；N2≤0.5PPm；H2O≤1PPm(即露點≤－76℃)； CO+CO2≤0.1PPm；塵埃粒子數（≥0.3μm）3-5個／升 |
| 工作壓力 |
0～1.0MPa |
| 處理氣量 |
1～4Nm3/h |
| 備 注 |
可根據用戶要求設計制造 |
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